扩散炉，链式炉，真空炉，炉体

 设备用途:

     用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。
链（带）式烧结炉特点      
     本设备为气氛保护炉，保护气氛为氢气、氮气、氩气等。
     设备具有连续工作性，保证生产效率。
     独特的气幕帘结合，确保炉膛与空气隔绝。
     多温区控制炉温，方便调整工艺曲线。
     链带速度无级连续可调。
     根据用户要求可配加湿器
链(带)式烧结炉主要技术指标
    带宽          90～350mm
     炉膛高度      100～200mm
     炉膛宽度      100～370mm
     冷却段长      1000～6000mm
     温度范围      300～1050℃
     等温区长      600～1500mm
     控制精度      ±2℃
     控制段数      4～10段
     带速         20～500mm/min
     升温时间      90～240min
     升温功率      20～120KVA
     保护气体      3～5路氮气0～100L/min
                  1路氢气0～80L/min